Tableau 8
Conditions d'injection améliorant ou non la réplication de surfaces submicroniques. Vi : vitesse d'injection ; Tf : température fourreau ; Tm : température moule ; Pm : Pression de maintien ; hR: hauteur/profondeur du motif ; wR: largeur du motif ; e : épaisseur de la pièce. Les effets les plus importants sont notés « + » et « NC » correspond à des grandeurs non mesurées.
Injection conditions improving, or not, the replication of submicron surfaces. Vi: Injection speed; Tf: melt temperature; Tm: mold temperature; Pm: Holding pressure; hR: height / depth of pattern; wR: pattern width; e: Thickness of the part. The most important effects are marked "+" and "NC" corresponds to unmeasured variables.
| Taille des structures | Forme des textures | Polymère | Paramètres procédés pour une meilleure réplication | % Réplication ou remarques majeures | Références | |||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| Vi (cm3.s−1) |
Tfo | Tm | Pm | |||||
| ɸ = 300 nm λ = 600 nm hR = 600 nm |
Trous | PMMA A-PA |
15 15 |
250 280 |
80 70 |
800 800 |
25 % 50 % |
[126] |
| Quelques mg | μ pièce | POM LCP |
0 + |
+ 0 |
– – |
++ ++ |
Masse et dimensions des pièces | [127] |
| hR = 110 nm wR = 40 nm |
Piliers | COC | + | Quel que soit la chimie du moule | [72] | |||
| hR = 0 ,66–2,0 μm wR = 10–150 nm |
Piliers | PC | NC | + | NC | Jusqu'à 95 % de répliques (avec revêtement SiO2) | [83] | |
| hR = 35–105 nm wR = 50–100 nm |
Piliers | COC | < 4 cm3/s | NC | NC | + | Attention aux contraintes internes en appliquant beaucoup de maintien | [128] |
| hR = 530 nm wR = 600 nm |
Canaux | PC PMMA |
+ | + | + | + | Jusqu'à 95 % en milieu et fin de pièce | [47] |
| e = 30 μm | Micro-pièce | POM HDPE PC |
+ + + |
[129] | ||||
| hR = 670 nm wR = 0,5–1 μm |
Canaux | PC COP SAN HFP-TFE-Et |
+ + + + |
PC>SAN et les répliques sont meilleures avec le motif où wR = 1 μm sauf pour le SC qui a la même hauteur de réplique quel que soit la hauteur du réseau | [121] | |||
| Textures min = 150 nm | Logo « UCD » | PEHD | ++ | + | Qualité dépend de la direction des textures vs. direction du flux d'injection | [119] | ||
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