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Tableau 3
Résumé des méthodes d’analyse par microscopie et microsonde électronique.
Summary of methods of analysis by microscopy and electron microprobe.
| MEB | microsonde | MET | |
|---|---|---|---|
| Imagerie | Topologie, chimie, contraste Z | Cartographie chimique, contraste Z | Contraste Z, topologie |
| Résolution spatiale | Micron (MEB conventionnel) jusqu’à la dizaine de nm (MEB – FEG) | Micron | nm |
| Limite de détection | Rarement en dessous de 0,1 pds % | Dépend du standard, peut atteindre le ppm | – |
| Éléments analysés | ≈ 50 | De Z = 4 à 100 | – |
| Préparation | Échantillons dans pastille epoxy, métallisation | Échantillons dans pastille epoxy, métallisation | Préparation lourde et complexe pour affiner un échantillon à quelques nm |
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