Guides d’onde canaux à base de couches chalcogénures déposées par co-évaporation thermique et gravées par voie sèche pour des applications en optique intégrée infrarouge
Matériaux & Techniques, 98 6-7 (2010) 453-458
Published online: 14 January 2011
DOI: 10.1051/mattech/2010114