Cartographie par diffraction des rayons x à l'échelle du micromètre des contraintes intragranulaires et des orientations cristallines d'un film d'or déposé sur une micro-poutre en silisium
, , , , et
Mater. Tech., 92 3-4 (2004) 46-50
Publié en ligne : 1 août 2007
DOI: 10.1051/mattech:2004017