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Influence des contraintes résiduelles et de la texture sur les propriétés mécaniques de films minces de Cr élaborés par pulvérisation cathodique RF - Relation structure-dureté de films de Cr

A. Le Priol, E. Le Bourhis, P.-O. Renault, P. Muller et H. Sik

Matériaux & Techniques, 101 3 (2013) 307

Publié en ligne : 5 juillet 2013

DOI: 10.1051/mattech/2013065

A. Le Priol

E. Le Bourhis

P.-O. Renault

P. Muller

H. Sik

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