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Nano indentation de couches dures ultra minces de ruthénium sur or

B. Arrazat, V. Mandrillon et K. Inal

Matériaux & Techniques, 99 2 (2011) 245-252

Publié en ligne : 21 juillet 2011

DOI: 10.1051/mattech/2011031

B. Arrazat

V. Mandrillon

K. Inal

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