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Article cité :

Les métaux réfractaires déposés en phase vapeur pour interconnexions dans les circuits intégrés - (Deuxième partie)

Y. Pauleau

Matériaux & Techniques, 77 9-10 (1989) 31-34

Publié en ligne : 2017-04-19

DOI: https://doi.org/10.1051/mattech/198977090031

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Citations de cet article :

Realization of capacitive structures from plasma enhanced chemical vapor deposition process

C. Monteil, B. Cros, R. Berjoan and J. Durand
Materials Science and Engineering: B 21 (1) 41 (1993)
https://doi.org/10.1016/0921-5107(93)90263-M

Multicomponent and Multilayered Thin Films for Advanced Microtechnologies: Techniques, Fundamentals and Devices

Y. Pauleau
Multicomponent and Multilayered Thin Films for Advanced Microtechnologies: Techniques, Fundamentals and Devices 471 (1993)
https://doi.org/10.1007/978-94-011-1727-2_26

Thermodynamic analysis and deposition of refractory materials

Claude Bernard and R. Madar
Surface and Coatings Technology 49 (1-3) 208 (1991)
https://doi.org/10.1016/0257-8972(91)90057-4

Metallurgical Coatings and Thin Films 1991

Claude Bernard and R. Madar
Metallurgical Coatings and Thin Films 1991 208 (1991)
https://doi.org/10.1016/B978-0-444-89455-7.50043-5