Caractérisation mécanique par nanoindentation de couches nanostructurées de Silicium poreux oxydé et non oxydéSouheyla Fakiri, Alex Montagne, Khadidja Rahmoun, Alain Iost and Katir ZioucheMatériaux & Techniques, 105 1 (2017) 107DOI: https://doi.org/10.1051/mattech/2017029
